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工業型原子力顯微鏡

型 號FM-NanoviewLS-AFM

更新時間2019-01-30

所屬分類工業型原子力顯微鏡

訪問次數1325

產品描述↟│☁₪↟:工業型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM◆ 實現樣品保持不動·•₪·,探針移動掃描的原子力顯微鏡;◆ 採用閉環三軸獨立壓電平移式掃描器·•₪·,大範圍高精度掃描;◆ 樣品尺寸◕☁▩、重量基本不受限制·•₪·,特別適合積體電路晶圓等超大樣品檢測;◆ 龍門架式掃描頭設計·•₪·,大理石底座·•₪·,真空吸附式載物臺;◆ 超大行程二維電動樣品移動臺·•₪·,快速選擇感興趣的樣品區域;◆ 高倍光學定位系統·•₪·,實現探針

產品概述

工業型原子力顯微鏡 
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 實現樣品保持不動·•₪·,探針移動掃描的原子力顯微鏡;
◆ 採用閉環三軸獨立壓電平移式掃描器·•₪·,大範圍高精度掃描;
◆ 樣品尺寸◕☁▩、重量基本不受限制·•₪·,特別適合積體電路晶圓等超大樣品檢測;
◆ 龍門架式掃描頭設計·•₪·,大理石底座·•₪·,真空吸附式載物臺;
◆ 超大行程二維電動樣品移動臺·•₪·,快速選擇感興趣的樣品區域;
◆ 高倍光學定位系統·•₪·,實現探針

工業型原子力顯微鏡技術引數

◆ 基本工作模式↟│☁₪↟:接觸◕☁▩、輕敲◕☁▩、F-Z力曲線測量◕☁▩、RMS-Z曲線測量◕☁▩、摩擦力/側向力◕☁▩、振幅/相位◕☁▩、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式↟│☁₪↟:Profile線快速測量模式
◆ 最大樣品尺寸↟│☁₪↟:Φ≥300mm·•₪·,H≥50mm
◆ 閉環掃描範圍↟│☁₪↟:XY向100um·•₪·,Z向10um
◆ 閉環掃描解析度↟│☁₪↟:XY向0.2nm·•₪·,Z向0.05nm
◆ 樣品移動範圍↟│☁₪↟:300mm×300mm
◆ 輔助光學定位↟│☁₪↟:10X物鏡·•₪·,光學解析度1um(可選配20X·•₪·,光學解析度0.8um)
◆ 氣動式減震臺·•₪·,減震頻率0.5Hz
◆ 噪音水平↟│☁₪↟:<0.1nm
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz·•₪·,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制↟│☁₪↟:XY採用18-bit D/A·•₪·,Z採用16-bit D/A
◆ 資料取樣↟│☁₪↟:14-bit A/D◕☁▩、雙16-bit A/D多路同步取樣
◆ 反饋方式↟│☁₪↟:DSP數字反饋
◆ 反饋取樣速率↟│☁₪↟:64.0KHz
◆ 通訊介面↟│☁₪↟:USB2.0/3.0
◆ 執行環境↟│☁₪↟:WindowsXP/7/8/10作業系統

工業型原子力顯微鏡 應用範圍

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